CVD涂层设备CVD设备

CVD涂层设备技术参数

一、系统的主要组成及技术指标
系统主要由涂层沉积真空室、外加热炉、气路系统、尾气处理系统等组成，实现加温后，通入工作气体，实现样品的涂层生长等功能。
1.使用机械泵抽气真空度可达到：1Pa；
2.较高温度：1100℃；
3.真空室内径：230mm;
4.恒温区范围：600mm×230mm
5.进气管直径：10mm
6.氢气较大流量：30SLM; 氮气较大流量：100SLM；甲烷较大流量：5SLM
7.浴槽罐的容量：5公斤；水浴加热较高温度：100℃；浴槽罐数量：2套
8.气管加热温度：150℃